Fabrication of perfect silicon corrugated diaphragm using KOH etching for MEMS pressure sensor /

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Norhayati Soin
مؤلفون آخرون: Burhanuddin Yeop Majlis
التنسيق: مقال
اللغة:الإنجليزية
الموضوعات:
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة: Fabrication of perfect silicon corrugated diaphragm using KOH etching for MEMS pressure sensor /