Fabrication of perfect silicon corrugated diaphragm using KOH etching for MEMS pressure sensor /

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Norhayati Soin
مؤلفون آخرون:	Burhanuddin Yeop Majlis
التنسيق:	مقال
اللغة:	الإنجليزية
الموضوعات:	Pressure transducers
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة